1、凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計關(guān)鍵指標

1.1環(huán)境潔凈度等級

潔凈度是電子潔凈廠房空氣好壞的重要指標，不同生產(chǎn)工藝對潔凈度要求不同，其標準對產(chǎn)品成品率有著極大影響，同時空氣潔凈度也是凈化空調(diào)設(shè)計的基礎(chǔ)指標。GB50073—2013《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》將潔凈室內(nèi)空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級分為9個等級，具體見表1。

1.2氣流流型及風量

潔凈室的氣流流型分為3類，即單向流、非單向流、混合流。單向流潔凈室分為水平流和垂直流，氣流沿單一方向呈平行流線從室內(nèi)的一側(cè)平穩(wěn)地流向其相對應(yīng)的回風一側(cè)，與氣流方向垂直的斷面上風速均勻，能達到較高的潔凈度；非單向流與單向流不同，其氣流的速度和方向在潔凈室內(nèi)不同位置均不相同；混合流是在同一潔凈室內(nèi)既存在非單向流型又存在單向流型。對于電子行業(yè)潔凈廠房，空氣潔凈度等級為1~5時，大多采用單向流和混合流；空氣潔凈度等級為6~9時，大多采用非單項流。近年的潔凈技術(shù)工程實踐表明，混合流流型可應(yīng)用于各種空氣潔凈度等級的潔凈室。潔凈室的送風量是確保室內(nèi)空氣潔凈度等級的主要條件，對于潔凈廠房的送風量一般采用換氣次數(shù)計算，具體見表2。

1.3靜壓差控制

靜壓差是潔凈廠房與其周圍其他空間間須維持的壓力差值，作用是保證潔凈廠房內(nèi)的潔凈度免受外部空間的影響。國標設(shè)計規(guī)范GB50073—2013《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》中要求潔凈室與周圍的空間必須維持一定的壓差，并按生產(chǎn)工藝要求決定維持正壓差還是負壓差。不同等級的潔凈室間壓差應(yīng)不小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)間的壓差應(yīng)不小于10Pa。為維持靜壓差，國內(nèi)外通常采用空間換氣次數(shù)進行估算，當潔凈廠房的靜壓差為5Pa時，為維持靜壓差，對應(yīng)的換氣次數(shù)為1~2次，當靜壓差值為10Pa時，為維持靜壓差，對應(yīng)的換氣次數(shù)為2~4次。

2、凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計分析

根據(jù)凈化空調(diào)系統(tǒng)凈化送風和空調(diào)送風承擔主體的不同，可將潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)分為兩類，即空調(diào)送風和凈化送風聯(lián)合系統(tǒng)、空調(diào)送風與凈化送風分離系統(tǒng)。此兩種系統(tǒng)涵蓋了潔凈廠房凈化空調(diào)所有的設(shè)計方案，文章重點分析不同系統(tǒng)形式的優(yōu)缺點及其適用場景。

2.1　空調(diào)送風和凈化送風聯(lián)合系統(tǒng)

空調(diào)送風和凈化送風聯(lián)合系統(tǒng)是將凈化空調(diào)機組（AHU）承擔全部空調(diào)送風和凈化送風的處理，機組設(shè)置在專用的空調(diào)機房內(nèi)，然后通過風管輸送至潔凈區(qū)域，從而滿足潔凈區(qū)內(nèi)溫度、濕度、潔凈度和房間壓差的要求。此系統(tǒng)是當前潔凈室特別是潔凈度要求低的非單向流潔凈室應(yīng)用最廣泛的方案，具有系統(tǒng)劃分明確，溫度和濕度控制調(diào)節(jié)較簡單的優(yōu)點。但對于潔凈廠房潔凈度要求較高的場所，存在著送風量較大，設(shè)備機房占地面積大，送風和回風管道截面大、管道長，機組風機需要提高較高的風壓，系統(tǒng)噪音較大，能耗高等缺點。

空調(diào)送風和凈化送風聯(lián)合系統(tǒng)根據(jù)設(shè)計方式不同可分為全新風凈化空調(diào)方案、一次回風凈化空調(diào)方案、二次回風凈化空調(diào)方案和MAU（新風機組）+RAU（空調(diào)處理機組）凈化空調(diào)方案。

（1）全新風凈化空調(diào)方案。適用于特殊且不允許回風的潔凈室潔凈空調(diào)系統(tǒng)，如甲類和乙類火災(zāi)危險等級高的廠房，以及在工藝生產(chǎn)過程會排放有毒有害物回風不允許循環(huán)利用的廠房。

（2）一次回風凈化空調(diào)系統(tǒng)方案。此方案適用于潔凈廠房內(nèi)的設(shè)備熱負荷或濕負荷較大，消除室內(nèi)熱負荷或濕負荷的送風量大于或等于凈化送風量的非單向流潔凈室中。

（3）二次回風凈化空調(diào)系統(tǒng)方案。此方案適用潔凈廠房為維持潔凈度的凈化風量大于消除室內(nèi)熱負荷或濕負荷的送風量時，為節(jié)約再（預(yù)）熱空氣的能量可采用二次回風抵消熱濕處理過程中冷或熱。該方案是最節(jié)能和經(jīng)濟的送風方案，但其對室內(nèi)溫度控制精度較低。

（4）MAU（新風機組）+RAU（空調(diào)處理機組）凈化空調(diào)方案。該方案適用于潔凈廠房內(nèi)存在多個潔凈室，且每個潔凈室的潔凈度和溫濕度要求不同，潔凈室內(nèi)的熱負荷和濕負荷也不相近的情況，為達到每個潔凈室的潔凈度和溫濕度及其精度的要求，可采取新風機組加多個循環(huán)機組。其中新風機組負責新風的凈化和熱濕處理，循環(huán)機組負責潔凈室凈化送風量和熱濕處理。

2.2　空調(diào)送風與凈化送風分離系統(tǒng)

空調(diào)送風與凈化送風分離系統(tǒng)中空調(diào)送風解決室內(nèi)的溫濕度，凈化送風保證室內(nèi)的潔凈度，系統(tǒng)的熱負荷、濕負荷和新風的凈化由空調(diào)機房內(nèi)的新風機組進行凈化和熱濕處理，而潔凈廠房的潔凈度由設(shè)置潔凈廠房技術(shù)夾層內(nèi)的高效循環(huán)機組進行凈化及部分熱濕處理。此系統(tǒng)的凈化送風與熱濕負荷空調(diào)送風相分離，可節(jié)省系統(tǒng)運行的能耗，減少了空調(diào)機房的占地面積以及巨大的送風和回風管道，從而可降低潔凈廠房的層高，節(jié)省土建投資。但此系統(tǒng)設(shè)備投資及運行費用相對較高。

空調(diào)送風與凈化送風分離系統(tǒng)根據(jù)設(shè)計方式不同可分為AHU（空調(diào)機組）+FFU（風機過濾機組）方案、MAU（新風機組）+RAU（循環(huán)機組）+FFU（風機過濾機組）方案、MAU（新風機組）+FFU（風機過濾機組）+DCC（干盤管）方案。

（1）AHU（空調(diào)機組）+FFU（風機過濾機組）方案?？照{(diào)機房內(nèi)的空調(diào)機組送風量是消除潔凈廠房熱負荷和濕負荷的空調(diào)送風量（包括全部新風和部分回風，此風量遠小于潔凈廠房的凈化送風量），此空調(diào)機組主要用于維持潔凈廠房內(nèi)的溫濕度的恒定；而潔凈廠房內(nèi)環(huán)境的潔凈度由設(shè)置在技術(shù)夾層中的風機過濾機單元（FFU）將廠房內(nèi)的空氣進行就地循環(huán)過濾來保證。該方案適用于大部分非單向流和混合流潔凈室。

（2）MAU（新風機組）+RAU（循環(huán)機組）+FFU（風機過濾機組）方案。此方案適用于潔凈廠房內(nèi)存在多個環(huán)境要求的潔凈室，其潔凈度、溫度、濕度要求均不同，室內(nèi)的熱負荷和濕負荷也不相近，為達到不同潔凈室在潔凈度、溫度、濕度及其精度上的差異化要求，系統(tǒng)在不同的潔凈區(qū)域設(shè)置多個循環(huán)機組，循環(huán)機組的風量與該區(qū)域的凈化送風量匹配；循環(huán)機組同時補充新風機組熱、濕處理的不足，以此來保證潔凈室內(nèi)的潔凈度和溫濕度。因氣流輸送距離短，機組的風機壓力相對較小，機組自身體積、噪聲、振動都較小，較為靈活，循環(huán)機組一般設(shè)置在潔凈室的技術(shù)夾層內(nèi)。新風機組（MAU）設(shè)置在專用的空調(diào)機房內(nèi)，潔凈廠房所需的新風和保證其正壓的風量全部由新風機組進行凈化和熱濕集中處理。

（3）MAU（新風機組）+FFU（風機過濾機組）+DCC（干盤管）方案。此方案新風機組會將新風處理到潔凈室熱濕比線與相對濕度90%線交點以下，新風機組在承擔新風熱負荷的同時承擔了廠房內(nèi)部全部的濕負荷，潔凈廠房自身的熱負荷由設(shè)置在技術(shù)夾層內(nèi)的干盤管承擔。而潔凈廠房的潔凈度則由布置在技術(shù)夾層內(nèi)的風機過濾機組（FFU）通過循環(huán)過濾室內(nèi)空氣進行保證。該方案調(diào)節(jié)方便、節(jié)能顯著。

3、結(jié)束語

文章根據(jù)電子行業(yè)潔凈廠房特點，同時結(jié)合工程經(jīng)驗，重點分析了保持電子行業(yè)潔凈廠房潔凈度等級要求的4個關(guān)鍵指標。同時從空調(diào)送風和凈化送風兩個方面給出了適合于不同潔凈度要求和不同工藝需要的凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計方式，對相關(guān)專業(yè)人員具有參考意義。