近年來，隨著我國經(jīng)濟的高速發(fā)展，以薄膜晶體管液晶顯示器（TFT－LCD）和有機電激光顯示器（OLED）生產(chǎn)用潔凈廠房為代表的電子工業(yè)潔凈廠房發(fā)展尤為迅速。電子工業(yè)的進步，對空氣的凈化、潔凈室溫濕度的控制、微粒粒徑的控制等提出了更高的要求。由此，在潔凈廠房工程建設(shè)過程中，更為精細化的施工管理及監(jiān)督工作尤為重要。

1 潔凈廠房概述

潔凈廠房也叫無塵車間、潔凈室（CleanRoom）、無塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，不論外在空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能特性。如圖1所示。

2 準備階段工程管理要點

（1）工藝布局應(yīng)避免人流、物流之間的混雜和交叉，是否分別設(shè)置人員入口、物料入口和設(shè)備出入口，并在各自的入口處設(shè)置相應(yīng)的凈化設(shè)施。

（2）工藝設(shè)備布局與進回風口位置不能有沖突，設(shè)備若阻擋進回風口，影響氣流，會影響溫度變化梯度。

（3）工藝設(shè)備數(shù)量不確定的區(qū)域，空調(diào)系統(tǒng)宜預(yù)留足夠余量，并考慮增加的工藝設(shè)備本身散熱。

（4）關(guān)注各種水電預(yù)留管線位置、容量與工藝設(shè)備的配套，滿足工藝設(shè)備需求。

（5）凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風自室外的吸入口位置，應(yīng)設(shè)置在遠離本建筑或其他構(gòu)筑物、裝置排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。

（6）局部排風系統(tǒng)排出的有害氣體，當其有害物質(zhì)的含量超過排放標準或環(huán)境要求時，應(yīng)采取有效凈化措施。

（7）潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機房、站房均應(yīng)設(shè)火災(zāi)探測器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置智能型探測器。

3 施工過程中工程管理要點

在整個潔凈室施工過程中，要遵循枟潔凈施工及驗收規(guī)范枠（JGJ7190），并根據(jù)施工場所潔凈度控制要求的不同，具體分三個施工階段，施工單位在不同的施工階段，應(yīng)分級對潔凈區(qū)域進行管制，不同級別管制階段，潔凈室內(nèi)施工側(cè)重點不同。

3.1一般潔凈階段

一般潔凈階段，指土建圍護結(jié)構(gòu)已完成，屬于常規(guī)的設(shè)備安裝，包括機械設(shè)備、送排風系統(tǒng)及吊頂支架安裝，對施工現(xiàn)場的清潔程度沒有特殊要求。

（1）所有人員必須從規(guī)定的出入口進出，必須換上軟底球鞋方可進入潔凈區(qū)，并且不得將軟底球鞋穿出潔凈區(qū)外。除施工人員及管理人員外閑雜人等一律不得進入潔凈區(qū)。

（2）進入潔凈區(qū)前施工用機具、工具、材料及附件等必須在室外清潔并擦拭干凈，不得有油、銹及灰塵等，并且只能從規(guī)定的出入口進出。梯腳、施工機具底腳必須有橡膠軟底。

（3）潔凈區(qū)內(nèi)搬運物料及機具搬運應(yīng)輕拿輕放，防止碰撞壁板或頂板。工具或材料搬運時必須完全離開地面，不得在地面上拖行。管道等長度≥1.5m的材料必須由兩人進行搬運，一人拿一端，不得一人獨自搬運。

（4）由施工產(chǎn)生的任何廢棄物必須隨手清掃，不得留任何廢棄物在現(xiàn)場。不用的工具、材料必須運離潔凈區(qū)。

（5）凡進行具有污染性的工作時，必須使用吸塵器同步清潔或?qū)⑹┕^(qū)域用塑料薄膜隔離起來。

（6）現(xiàn)場施工必須做好環(huán)氧地面的保護工作。如需堆放材料必須墊塑料薄膜，較重的材料必須墊用膠帶包裹好的木方。

（7）刷漆或刷涂料時地面必須另外用板保護，油漆、涂料及其施工設(shè)備必須隨手攜帶，不得在現(xiàn)場存放。

3.2非常潔凈階段

（1）進入潔凈管制區(qū)域施工必須佩戴安全和潔凈合一的胸卡，缺一不可。

（2）人流物流分開，人員必須從人流控制室出入，材料、施工設(shè)備必須從物料控制室進入。

（3）潔凈室嚴禁帶入香煙、食物、飲料、布拖把、油類、生銹的工具、掃帚、砂紙、以及未經(jīng)批準進入的化學品。

（4）運往潔凈室的材料、設(shè)備必須清掃干凈并包裹好，在潔凈區(qū)外拆除外包裝。

（5）管道在施工前必須先進行清洗、封口，施工過程中管道暢口必須隨時封口，在搬運、安裝過程中應(yīng)防止二次污染的發(fā)生。

（6）禁止產(chǎn)塵作業(yè)，不得已時必須使用真空吸塵器同步進行清掃。

（7）嚴禁施工人員碰觸已安裝完的設(shè)備或站于設(shè)備上方施工。

3.3超潔凈階段

超潔凈階段，指潔凈室結(jié)構(gòu)完成后的最后施工階段，在此階段，主要進行高效過濾器、風口、風淋室、潔凈燈具、潔凈管道、設(shè)備等對潔凈等級有極高要求的設(shè)備安裝、工藝管線安裝和一些測試工作。

（1）進入潔凈室的人員應(yīng)穿著全套潔凈服，包括口罩、發(fā)罩、手套、潔凈鞋等，且潔凈服袖口應(yīng)套住手套口，各施工單位人員自備潔凈服等潔凈用品。

（2）不準使用非潔凈室用紙張、簽字筆等，圖紙必須塑封。必須使用木材類的，應(yīng)采取塑料薄膜包裹等防塵處理措施。

（3）不得在潔凈室內(nèi)使用電焊機、氧氣、乙炔或切割機等進行產(chǎn)生煙霧的作業(yè)。

（4）除施工外，任何人員不得掀開架空地板，不得已掀開時應(yīng)在最短的時間內(nèi)將其復(fù)原。

（5）人員通過風淋室時步行速度要慢（每秒2～3步），胳膊要前后擺動。

3.4　三個階段遵循四項原則

三個階段工程管理的四項原則概述，見圖2所示。

4 驗收和設(shè)備搬入階段工程管理要點

潔凈室的驗收一般分為工程施工驗收、功能驗收和使用驗收，在進行驗收前，應(yīng)由業(yè)主和承包商先確定潔凈室的占用狀態(tài)。潔凈室內(nèi)各專業(yè)工程完工后，并進行了單機試轉(zhuǎn)、系統(tǒng)整體試運轉(zhuǎn)，這個階段需要進行工程施工驗收，并收集和整理完整的施工記錄資料、檢測記錄和相關(guān)設(shè)備的資料。功能驗收和使用驗收應(yīng)由業(yè)主與承包商在合同中確定，并按規(guī)定時間和規(guī)定的內(nèi)容由第三方進行相關(guān)測試后進行驗收，系統(tǒng)測試前，施工單位項目經(jīng)理部應(yīng)編制詳細可行的測試方案，測試主要內(nèi)容包括：潔凈度、溫濕度、壓差、氣流組織、自凈，測試階段，特別提醒注意的是在測試空調(diào)系統(tǒng)前，首先應(yīng)對水電氣自動化控制分系統(tǒng)進行調(diào)試測試，確保達到設(shè)計參數(shù)要求，對溫度有嚴格要求的潔凈系統(tǒng)，風管上一般加電熱風機箱單項進行調(diào)試測試。潔凈度：各種電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定的，以參建的某TFT－LCD電子廠房為例，對空氣潔凈度等級的要求如表1所列。

壓差：潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間、不同等級潔凈區(qū)之間的壓差不低于10Pa，相同潔凈度等級不同功能的操作間之間保持適當?shù)膲翰钐荻龋苑乐刮廴竞徒徊嫖廴尽?/p>

氣流組織和自凈：各種氣流方式無導致污染的風險，例如，應(yīng)采取適當?shù)拇胧┐_保氣流不會將操作或設(shè)備以及操作人員散發(fā)的粒子吹向潔凈要求高的區(qū)域。生產(chǎn)操作全部結(jié)束，操作人員撤離后現(xiàn)場并經(jīng)15～20min（指導值）自凈后，潔凈區(qū)達到“靜態(tài)”標準。各種參數(shù)的檢測，需要由專業(yè)的機電工程調(diào)試檢測（TAB）技術(shù)服務(wù)公司進行，該TFT－LCD電子廠房在過程建造中嚴格執(zhí)行了潔凈室管理重點，完工后經(jīng)檢測達到了設(shè)計性能要求，實現(xiàn)了該項目的提前量產(chǎn)和盈利，電子產(chǎn)品良品率達到98％以上。

工藝設(shè)備搬入和安裝階段，對潔凈廠房潔凈區(qū)的使用管理同樣有較高要求，建議建設(shè)單位應(yīng)由專業(yè)部門專人管理，定期進行功能檢測，對初效過濾器及時清洗，中高效過濾器及時更換，空調(diào)水系統(tǒng)過濾器定期清洗，在生產(chǎn)間歇期間應(yīng)對精華空調(diào)系統(tǒng)進行檢修，重點是：對各種電動執(zhí)行機構(gòu)動作情況進行測試，溫濕度、壓差傳感器的敏感度測試，確保運行安全和運行效率。日常應(yīng)加強對作業(yè)員工的行為檢查，嚴格按潔凈室的要求配備員工的裝備，防止個別員工違規(guī)操作，確保生產(chǎn)環(huán)境符合要求。

5 結(jié)束語

隨著電子工業(yè)的飛速發(fā)展，科技的不斷更新，潔凈廠房的建設(shè)標準越來越向大體量、高級別、高純物質(zhì)、防微振、防靜電和安全高要求的方向發(fā)展，而在潔凈廠房建造過程中，還需要面臨工期緊迫、交叉施工多、工序組織難度大等方面的困難，施工管理工作也更加繁重，建造階段就需要項目管理團隊耐心、細致的工作，要遵循潔凈室內(nèi)的建造管理原則，使?jié)崈羰?/p>

能達到設(shè)計所賦予的功能，達到生產(chǎn)工藝所需條件，項目管理部需要在潔凈廠房建造過程中和已建成的廠房運行中不斷總結(jié)經(jīng)驗和教訓，為業(yè)主提供更優(yōu)質(zhì)的服務(wù)，為電子工業(yè)的發(fā)展作出貢獻。