工程概況

該微電子工廠主要從事芯片的設(shè)計(jì)、開發(fā)、制造、銷售和技術(shù)服務(wù)。新主廠房建成投產(chǎn)后，集成電路生產(chǎn)技術(shù)水平從現(xiàn)在在的1.2微米提升到0.8微米。廠區(qū)包括主廠房、化學(xué)品庫、動(dòng)力廠房、行政辦公樓等。主廠房為三層建筑，從下至上依次為動(dòng)力下技術(shù)夾層、潔凈下技術(shù)夾層、潔凈室。

室內(nèi)參數(shù)

潔凈室面積約5000平方米，潔凈等級(jí)分為ISO 5級(jí)（100級(jí)）、ISO 6級(jí)（1000級(jí)）和ISO 7級(jí)（10000級(jí)），主要參數(shù)如下：

主生產(chǎn)區(qū)：溫度23±1.5℃，相對(duì)濕度43±3%，高效過濾效率99.9995%@0.3μm，噪聲≤60；

光刻區(qū)：溫度23±1℃，相對(duì)濕度43±3%，高效過濾效率99.9995%@0.3μm，噪聲≤60；

支持區(qū)：溫度23±3℃，相對(duì)濕度45±5%，高效過濾效率99.9995%@0.3μm，噪聲≤60。

空氣處理

潔凈室新風(fēng)系統(tǒng)共配有四臺(tái)新風(fēng)機(jī)組，三用一備，每臺(tái)新風(fēng)處理機(jī)組新風(fēng)量為130000立方米每小時(shí)。新風(fēng)全部在屋面上的新風(fēng)小屋采集，接入新風(fēng)機(jī)組處理后，再通過風(fēng)管直接送到潔凈室吊頂上的靜壓箱與潔凈室回風(fēng)混合后再送入室內(nèi)。

新風(fēng)機(jī)組處理示意

初效—中效—預(yù)熱—預(yù)冷—加濕—再冷—再熱—風(fēng)機(jī)—消聲—預(yù)留—高效，重復(fù)以上流程。