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電子潔凈廠房建設新方向
發(fā)布時間:2023年09月11日

近年來,電子產(chǎn)品發(fā)展很快,向大屏幕、平面化、薄型化、高清等方向發(fā)展迅猛,大規(guī)模集成電路,已從微米發(fā)展到亞微米再到納米。所以,電子工業(yè)潔凈廠房的建筑設計,必須適應新時期的需要。本文就結合實際項目設計經(jīng)驗對電子潔凈廠房的建筑設計進行探討分析。

 

1 電子潔凈廠房建筑設計特點

廠房設計的根本原則是滿足工藝生產(chǎn)的要求。電子潔凈廠房有三個最主要的特點:第一生產(chǎn)工藝對建筑體量的要求越來越大,投資規(guī)模也越來越大;第二,對于環(huán)境的潔凈度、溫濕度、防微震都有嚴格的要求;第三,在電子產(chǎn)品如電子材料、半導體器件、集成電路、液晶顯示器件等生產(chǎn)過程中,需要使用甲苯、丙酮、硅烷等易燃易爆物品,火災危險性較高,它們對潔凈廠房構成潛在的火災威脅。

 

2 電子潔凈廠房建筑設計需求分析

首先,由于電子潔凈廠房的體量較大,在設計時需要根據(jù)具體的需求進行場地的布置,劃分不同的功能區(qū)域的問題,以滿足生產(chǎn)過程對于廠房的要求。生產(chǎn)區(qū)域需要盡量靠近硅烷站、動力站、廢水站以及固廢站等區(qū)域,方便進行管理并保證生產(chǎn)安全,而且能夠簡化管線的布置。與此同時,廠房的規(guī)模更大,就應對火災危險性的等級與耐火等級進行合理的定義,規(guī)范防火區(qū)域的劃分,設計合理的安全疏散通道。

其次,由于電子潔凈廠房對溫濕度與潔凈度具有極高的要求,需要采取行之有效的措施來提高廠房環(huán)境的潔凈度。與此同時,廠房對于防微振控制的要求同樣較高,需要盡量降低廠房內(nèi)發(fā)生微小振動對產(chǎn)品生產(chǎn)的影響,提高生產(chǎn)效率。再次,由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)需要使用大量的易燃易爆材料,火災隱患高于其他種類產(chǎn)品的生產(chǎn)過程。并且廠房內(nèi)的空間緊湊,疏散路線的確定具有較大的難度,在設計中需要合理地安排疏散路線,防止因火災造成嚴重的損失。

 

3 新形勢下電子潔凈廠房建筑設計分析

3.1電子潔凈廠房安全疏散設計

安全疏散設計是防火設計的重要內(nèi)容,建筑物發(fā)生火災時,為避免建筑內(nèi)人員因火燒、煙熏中毒和房屋倒塌而遭到傷害,必須盡快撤離,室內(nèi)的物資也要盡快搶救出來。相關電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范中規(guī)定潔凈廠房的安全出口的設置,應符合下列規(guī)定:每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目,應符合相關潔凈廠房設計規(guī)范中相關規(guī)定;安全出口應分散布置,并應設有明顯的疏散標志;安全疏散距離應符合相關建筑設計防火規(guī)范的規(guī)定。安全疏散用門應向疏散方向開啟,并應設觀察玻璃窗;丙類生產(chǎn)的電子潔凈廠房,在關鍵生產(chǎn)設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后,安全疏散距離可按工藝需要確定,但不得大于第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。

3.2電子潔凈廠房的防火設計

防火分區(qū)是采用具有一定耐火性能的分隔構件劃分的,能在一定時間內(nèi)防止火災蔓延。電子潔凈廠房的建筑防火設計要考慮以下幾個方面:

(1)電子潔凈室為保證廠房的潔凈度,避免開窗形成密閉的空間,保證氣密性。這樣導致火災發(fā)生后,大量的煙氣令人窒息昏厥,而外墻無窗難以發(fā)現(xiàn)室內(nèi)的火災,對疏散和

撲救都不利,所以相關潔凈廠房設計規(guī)范明確規(guī)定:潔凈廠房同層潔凈室外墻應設可供消防人員通往廠房潔凈室的門窗,其門窗洞口間距大于80m時,應在該段外墻的適當部位

設置專用消防口。相關建筑設計防火規(guī)范提出了更嚴格的要求:供消防救援人員進入的窗口的凈高度和凈寬度均不應小于1.0m,間距不宜大于20m且每個防火分區(qū)不應少于2個。

電子潔凈廠房設有人員凈化、物料凈化設施,各生產(chǎn)區(qū)域因潔凈度等級差導致建筑內(nèi)部區(qū)劃分隔復雜,建筑內(nèi)部平面布置曲折,工作人員平時出入要通過曲折迂回的路線,增加了疏散路線上的障礙,延長了安全疏散的距離和時間。所以相關潔凈廠房設計規(guī)范明確規(guī)定:安全出入口應分散布置,從生產(chǎn)地點至安全出口不應經(jīng)過曲折的人員凈化路線,并應設有明顯的疏散標志。潔凈廠房設備密閉性良好,并設有氣體或可燃蒸汽報警裝置和滅火裝置時,應按丙類設防??梢?,電子潔凈廠房的定性為丙類建筑。根據(jù)其火災特性,為了保障財產(chǎn)、人身的安全,嚴格控制潔凈廠房的耐火等級,相關電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范中明確規(guī)定:潔凈廠房耐火等級不應低于二級。

3.3電子潔凈廠房潔凈度設計

潔凈廠房設計時如何控制潔凈度對于建筑設計來說尤為重要。電子潔凈廠房潔凈度設計要考慮以下幾個方面:

(1)工作人員及物流凈化。對于電子潔凈廠房內(nèi)工作人員的凈化,必須遵循由外向內(nèi),逐步凈化的凈化原則,工作人員在進入廠房后必須人員凈化采用一二次更衣再進入準潔凈區(qū)域,在這個區(qū)域內(nèi),需要通過空氣吹淋處理才能夠進入潔凈區(qū)域。在進行廠房設計時必須合理安排這一路線,防止因人員走動造成交叉污染。潔凈廠房的物料或設備入口必須單獨設置,這些入口不得有人員通過,物料與設備在進入潔凈區(qū)域前,必須經(jīng)過凈化處理,在進行廠房設計時必須為其設置物料凈化區(qū)域,這個區(qū)域與潔凈區(qū)之間需要通過傳遞窗或氣閘室連接,完成凈化的物料必須通過傳遞窗或氣閘室機內(nèi)潔凈區(qū),以確保物料與設備的進入不會對潔凈區(qū)的潔凈度造成影響。

(2)裝修材料的選擇。對電子潔凈廠房的潔凈度進行控制,不僅需要控制空氣中的塵粒,同時還要對室內(nèi)裝修使用的材料進行有效的控制。在對潔凈廠房進行室內(nèi)裝修時,不允許使用能夠釋放影響電子產(chǎn)品裝修材料,生產(chǎn)區(qū)地面為防靜電高架地面,地面、回風技術下夾層墻面、頂棚、光刻間密梁結構均采用環(huán)氧樹脂涂裝,墻面及吊頂均為氣密性好的凈化金屬壁板。動力區(qū)地面采用防塵涂料地面、防腐地磚。結構設計應盡量保持平整。并且還要確保圍護結構的密閉性。一般情況下,圍護結構的密閉性需要通過減少結構的中的縫隙或提高縫隙密閉性來解決。

 

4 結束語

由上可知,在新形勢下對電子潔凈廠房建筑進行設計的過程中,必須在滿足各項規(guī)范要求的前提下對工藝流線進行合理的布局,并保證防火區(qū)域劃分與安全出口設置的科學性。


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